氮化硅（Si_3N_4）硬度高、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，粉碎它有一定難度。以下是一些常見方法：

1. 機械粉碎法：采用球磨機、振動磨等設(shè)備。以球磨機為例，在球磨罐中放入氮化硅原料和研磨球，
通過研磨球的運動撞擊、研磨原料，使其顆粒細化。但要注意控制研磨時間和轉(zhuǎn)速，避免因摩擦生熱導(dǎo)致氮化硅性能變化。

2. 氣流粉碎法：利用高壓氣流將氮化硅顆粒加速，使其相互碰撞，或與器壁碰撞而粉碎。能得到粒度較細且分布均勻
的產(chǎn)物，常用于制備高質(zhì)量氮化硅微粉。

3. 化學(xué)輔助粉碎：先對氮化硅進行化學(xué)處理，使其表面性質(zhì)改變，降低硬度，再結(jié)合機械方法粉碎。比如用合適的化
學(xué)試劑對氮化硅進行預(yù)處理，弱化其內(nèi)部結(jié)合力。