二氧化硅在電子材料上的應(yīng)用
二氧化硅在電子材料中核心應(yīng)用是作為絕緣材料和結(jié)構(gòu)支撐材料,是半導(dǎo)體制造及電子元件封裝的關(guān)
鍵基礎(chǔ)材料。
其具體應(yīng)用場(chǎng)景主要包括以下幾類:
? 半導(dǎo)體芯片制造:作為芯片層間的介電材料(ILD),實(shí)現(xiàn)不同金屬導(dǎo)線層之間的電氣隔離,同時(shí)也
是淺溝槽隔離(STI)技術(shù)的核心材料,用于隔離相鄰的晶體管。
? 電子封裝材料:在集成電路(IC)封裝中,作為封裝填料添加到環(huán)氧樹脂等基體中,可降低封裝體的
熱膨脹系數(shù)、提高導(dǎo)熱性和機(jī)械強(qiáng)度,保護(hù)芯片免受外部環(huán)境影響。
? 電子元件絕緣:用于制作電容器的絕緣介質(zhì)、電子管的玻璃外殼以及各類電子器件的絕緣涂層,利用
其優(yōu)異的絕緣性能防止漏電。
? 光學(xué)電子領(lǐng)域:高純度二氧化硅可制成光學(xué)玻璃或光纖,用于光通信、激光器件等光電子設(shè)備,傳遞
光信號(hào)并減少信號(hào)損耗。
? 研磨拋光材料:在芯片制造的“化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)”工藝中,超細(xì)二氧化硅顆粒(膠體硅)作為
拋光液的核心成分,用于精確去除芯片表面多余材料,實(shí)現(xiàn)晶圓的超平整化。